[发明专利]一种光伏硅片用快速传输的组合系统有效
申请号: | 201711478929.5 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108039335B | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 马丁 | 申请(专利权)人: | 赛能自动化技术(苏州)有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人: | 杨慧林;冯瑞 |
地址: | 215000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种光伏硅片用快速传输的组合系统,主要解决的技术问题是现有技术中在对光伏硅片镭射雕刻时,上料传输速度慢而且摩擦损伤大的问题,本发明通过一种光伏硅片用快速传输的组合系统,包括一个整体的机架,所述机架上依次设置的用于对满载光伏硅片的花篮和空载光伏硅片的花篮进行上下料的上下料装置、用于取出花篮内光伏硅片的上料传输装置、用于对移动中光伏硅片进行定位的移动定位装置以及用于对进行镭射雕刻的光伏硅片进行传输的气悬浮传输装置的技术方案,较好地解决了该问题,可用于光伏硅片上料传输。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 快速 传输 组合 系统 | ||
【主权项】:
1.一种光伏硅片用快速传输的组合系统,包括一个整体的机架,其特征在于,所述机架上依次设置的用于对满载光伏硅片的花篮和空载光伏硅片的花篮进行上下料的上下料装置、用于取出花篮内光伏硅片的上料传输装置、用于对移动中光伏硅片进行定位的移动定位装置以及用于对进行镭射雕刻的光伏硅片进行传输的气悬浮传输装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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