[发明专利]用于气动压力测量的微流体柔性传感器及其制作方法

摘要

本发明提供了一种用于气动压力测量的微流体柔性传感器，包括：两个层叠设置的基底；其中，第一基底朝向第二基底的一面设置有主流道和分流道，所述主流道的首尾两端分别连接一导电液体注射口，所述注射口延伸至第一基底远离第二基底的那一面；所述分流道有多个，每一个分流道的一端分别与主流道的不同位置连通，另一端向着远离主流道的方向延伸，并且为封闭端；所述第二基底朝向第一基底的一面具有两个独立的容置电极的腔室，所述腔室朝向第一基底的一侧为开口面；所述第一基底和第二基底层叠放置后，所述导电液体和电极被封装在两个基底之中。

主权项

一种用于气动压力测量的微流体柔性传感器，其特征在于包括：两个层叠设置的基底；其中，第一基底朝向第二基底的一面设置有主流道和分流道，所述主流道的首尾两端分别连接一导电液体注射口，所述注射口延伸至第一基底远离第二基底的那一面；所述分流道有多个，每一个分流道的一端分别与主流道的不同位置连通，另一端向着远离主流道的方向延伸，并且为封闭端；所述第二基底朝向第一基底的一面具有两个独立的容置电极的腔室，所述腔室朝向第一基底的一侧为开口面；所述第一基底和第二基底层叠放置后，所述导电液体和电极被封装在两个基底之中；其中所述导电液体在主流道中流动时，其与主流道底面的接触角大于90°，并且所述主流道的横截面与分流道的横截面满足如下关系：其中L1、H1分别为主流道横截面的宽度和高度，L2、H2分别为分流道横截面的宽度和高度。