[发明专利]一种高精度平行度调整装置和方法在审
| 申请号： | 201711481001.2 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108188955A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 谢吉涛;安海银 | 申请（专利权）人： | 三英精控（天津）仪器设备有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;G01B11/27 |
| 代理公司： | 北京君泊知识产权代理有限公司 11496 | 代理人： | 王程远 |
| 地址： | 301700 天津市武*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高精度的平行度调整装置，支架上水平安装有载体，所述载体上分别设有压电偏摆镜和镜片，所述激光干涉仪设在镜片一侧，与镜片相互对应；所述镜片分为大镜片和小镜片，所述小镜片安装在大镜片上，所述压电偏摆镜与小镜片连接；所述支架B 3上固定有4个调节螺纹副，所述调节螺纹副分为中间螺纹副和周边螺纹副，所述中间螺纹副做定位和Z轴粗调节，所述周边螺纹副围绕着中间螺纹副呈120°均匀分布，用作平行度粗调整和Z轴粗调整，通过调整螺栓和压簧的预紧力，保证整个系统的刚性。本发明提高了两个元件之间平行度、平面度的调节效率，改善了调节的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 螺纹 镜片 小镜片 平行度调整装置 大镜片 偏摆镜 平行度 压电 支架 激光干涉仪 调整螺栓 平面度 预紧力 压簧 平安 保证 | ||
【主权项】：
1.一种高精度的平行度调整装置，其特征在于：包括用于承载两个待调元件的载体、用于支撑所述载体的支架，压电偏摆镜(6)(Z，Rx，Ry)以及一台激光干涉仪，所述支架上水平安装有载体，所述载体上分别设有压电偏摆镜(6)和镜片，所述激光干涉仪设在镜片一侧，与镜片相互对应；所述镜片分为大镜片(8)和小镜片(9)，所述小镜片(9)安装在大镜片(8)上，所述压电偏摆镜(6)与小镜片(9)连接；所述支架包括支架A(2)和支架B(3)，所述支架A(2)上垂直安装有支架B(3)，所述支架B(3)上固定有4个调节螺纹副(10)，所述调节螺纹副(10)分为中间螺纹副(101)和周边螺纹副(102)，所述中间螺纹副(101)做定位和Z轴粗调节，所述周边螺纹副(102)围绕着中间螺纹副(101)呈120°均匀分布，用作平行度粗调整和Z轴粗调整，通过调整螺栓(7)和压簧(5)的预紧力，保证整个系统的刚性。
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