[发明专利]一种硅棒的硬度评估方法在审
| 申请号： | 201711485369.6 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108225955A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李飞龙;谷宁宁;熊震;朱军;邢国强 | 申请（专利权）人： | 洛阳阿特斯光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/42 | 分类号： | G01N3/42 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 471023 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种硅棒硬度的评估方法，所述方法包括：(1)切取硅晶体，得到至少两块硅棒；(2)从至少两块硅棒中选定参考硅棒并分别测量参考硅棒的硬度，得到参考硅棒的硬度数据，根据参考硅棒的硬度数据评估所有硅棒硬度。本发明的方法通过选择硅棒特定区域进行显微硬度测试，根据硅棒的硬度测试结果，将多晶硅棒分为正常硬度、高硬度和超高硬度三类硅棒，针对不同硬度的硅棒，采用相应的切割用线工艺，可以避免不同硬度硅棒导致的金刚石磨损不均匀，进而影响切割良率甚至断线的不良比例的问题，使得多晶金刚线切片的综合用线降低，切割良率提升，从而降低多晶金刚线切片成本。 | ||
| 搜索关键词： | 硅棒 参考 切割 硬度数据 金刚线 多晶 良率 切片 显微硬度测试 硬度测试结果 金刚石磨损 超高硬度 多晶硅棒 硬度评估 不均匀 高硬度 硅晶体 评估 断线 切取 测量 | ||
【主权项】：
1.一种硅棒硬度的评估方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：(1)切取硅晶体，得到至少两块硅棒；(2)从至少两块硅棒中选定参考硅棒并分别测量参考硅棒的硬度，得到参考硅棒的硬度数据，根据参考硅棒的硬度数据评估所有硅棒硬度。
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