[发明专利]四极杆电压控制电路及方法在审

专利信息
申请号: 201711487931.9 申请日: 2017-12-30
公开(公告)号: CN108134603A 公开(公告)日: 2018-06-08
发明(设计)人: 杨继伟;李纲;钱隆;张建 申请(专利权)人: 杭州谱育科技发展有限公司
主分类号: H03L5/00 分类号: H03L5/00;H03M1/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 310052 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明涉及一种四极杆电压控制电路及方法,所述电压控制电路包括控制单元,顺次连接的第一数模转换器、第一调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第一反馈电路和第一模数转换器,顺次连接的第二数模转换器、第二调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第二反馈电路和第二模数转换器;第一开关,使得射频驱动单元选择性地连通第一数模转换器的输出端或第一调节单元的输出端;第二开关,使得射频驱动单元选择性地连通第二数模转换器的输出端或第二调节单元的输出端;第三开关,用于控制谐振单元的VRF‑输出端与第二反馈电路之间的通断;第四开关,使得VRF+输出端选择性地连接第一反馈电路或第二反馈电路。本发明具有操作简单、射频电压幅值相同等优点。
搜索关键词: 输出端 反馈电路 射频驱动单元 数模转换器 电压控制电路 谐振单元 转换器 顺次连接 四极杆 连通 选择性地连接 第一开关 射频电压 第二模 第一模 通断
【主权项】:
一种四极杆电压控制电路,包括控制单元,其特征在于:所述电压控制电路进一步包括:顺次连接的第一数模转换器、第一调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第一反馈电路和第一模数转换器,顺次连接的第二数模转换器、第二调节单元、射频驱动单元、谐振单元、第二反馈电路和第二模数转换器;所述第一数模转换器的输入端、第二数模转换器的输入端、第一模数转换器的输出端和第二模数转换器的输出端连接所述控制单元,第一反馈电路的输出端连接第一调节单元的输入端,第二反馈电路的输出端连接第二调节单元的输入端;所述第一反馈电路和第二反馈电路分别接收谐振单元输出的VRF+、VRF‑进行转化后输出反馈电压至第一调节电路和第二调节电路,经第一调节电路和第二调节电路的调节使得各自的反馈电压分别与第一数模转换器和第二数模转换器输出的电压相同;第一开关,所述第一开关设置在第一调节单元和射频驱动单元之间,使得所述射频驱动单元选择性地连通第一数模转换器的输出端或第一调节单元的输出端;第二开关,所述第二开关设置在第二调节单元和射频驱动单元之间,使得所述射频驱动单元选择性地连通第二数模转换器的输出端或第二调节单元的输出端;第三开关,所述第三开关用于控制谐振单元的VRF‑输出端与第二反馈电路之间的通断;第四开关,所述第四开关设置在谐振单元的VRF+输出端与第一反馈电路之间,使得VRF+输出端选择性地连接第一反馈电路或第二反馈电路。
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