[发明专利]缺陷检测装置及方法在审
| 申请号： | 201711488774.3 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN109991238A | 公开（公告）日： | 2019-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王赛;杨晓青 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检测装置及方法，在金相物镜切换到微分干涉相差成像物镜时，所述可动镜组进入入射光路，通过调节所述可动镜组的焦距，调节所述入射光路的焦距，进而调节微分干涉相差成像物镜的后焦面与金相物镜的后焦面轴向位置差异,从而改变了照明光路的光源成像位置，使得光源可成像到的微分干涉相差成像物镜的后焦面，实现微分干涉相差成像物镜时的柯勒照明，保证柯勒照明的照明均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 成像物镜 微分干涉 后焦面 缺陷检测装置 可动镜组 入射光路 焦距 照明均匀性 光源成像 物镜切换 照明光路 轴向位置 物镜 光源 成像 保证 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括：载物模块，承载待测物；照明模块，提供入射光；物镜模块，所述物镜模块包括金相物镜和微分干涉相差成像物镜，所述入射光经过所述金相物镜或微分干涉相差成像物镜照射至所述待测物并反射回反射光；探测模块，所述待测物所反射的所述探测信号由所述探测模块接收；可动镜组，调节入射光路的焦距；反射光经过所述物镜照射至探测器；当所述物镜由所述金相物镜切换到所述微分干涉相差成像物镜时，所述可动镜组进入入射光路。
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