[发明专利]一种气体调节系统及模块化的气体调节装置

摘要

本发明提供了一种气体调节系统及模块化的气体调节装置，其中气体调节系统包括至少两路输气单元、以及一具有一内腔的比例混合单元，每路输气单元均包括一输入端和一输出端，输出端与内腔连通，输入端用于分别与一对应的气源连通；在每路输气单元上均设置有一减压阀，减压阀用于对流经的气体进行减压；比例混合单元用于对进入内腔中的至少两路气体进行比例调节、混合以及输出。本发明提供的一种气体调节系统及模块化的气体调节装置，通过在每路输气单元上设置减压阀，在混合前将每种气体的压力调节至相等或接近，克服现有技术中由于厂端气源提供的气体压力波动范围较大，在混合时出现因为某一路中的气体气压值过高导致混合器调节失效的问题。

主权项

一种气体调节系统，其特征在于，包括至少两路输气单元、以及一具有一内腔的比例混合单元，每路所述输气单元均包括一输入端和一输出端，所述输出端与所述内腔连通，所述输入端用于分别与一对应的气源连通；在每路输气单元上均设置有一减压阀，所述减压阀用于对流经的气体进行减压；所述比例混合单元用于对进入所述内腔中的至少两路气体进行比例调节、混合以及输出。