[发明专利]输出相干激光的激光器阵列

摘要

本发明提供了一种输出相干激光的激光器阵列，包括：种子激光器、光波导结构、光学天线阵列、准直透镜阵列和垂直腔面发射激光器VCSEL阵列；光波导结构包括第一波导和第二波导组，第一波导用于传输种子光，并将种子光耦合至第二波导组中每一第二波导；光学天线包括：耦合单元、相位调制单元和发射单元；发射单元用于使调制后的种子光沿对应的准直透镜的光轴方向传输；准直透镜阵列用于将接收到的种子光准直至VCSEL阵列；VCSEL阵列用于对接收到的准直后的种子光进行光放大形成的激光。本发明提供的一种基于光波导结构传输技术实现对大功率种子光均匀分光注入锁定的二维VCSEL阵列，可以得到高功率、高相干性的多束激光。

主权项

1.一种输出相干激光的激光器阵列，其特征在于，包括：种子激光器、光波导结构、光学天线阵列、准直透镜阵列和垂直腔面发射激光器VCSEL阵列；所述种子激光器用于为所述激光器阵列提供种子光；所述光波导结构包括第一波导和第二波导组，所述第一波导用于传输种子光，并将种子光耦合至所述第二波导组中每一第二波导；所述光学天线阵列中的光学天线与所述准直透镜阵列中的准直透镜，以及与所述VCSEL阵列中的VCSEL单元的数量相等且一一对应；所述光学天线包括：耦合单元、相位调制单元和发射单元；所述耦合单元、相位调制单元和发射单元依次连接；所述耦合单元用于获取一第二波导内的种子光，所述相位调制单元用于对获取到的种子光的相位进行调制，以使所述第二波导组内的种子光经所述光学天线阵列后变为相位差为定值的种子光；所述发射单元用于改变调制后的种子光的传输方向，使调制后的种子光的传输方向沿对应的准直透镜的光轴方向；所述准直透镜用于将接收到的种子光准直至对应的VCSEL单元；所述VCSEL单元用于对接收到的准直后的种子光进行光放大，并发射经放大后形成的激光。