[发明专利]电弧源的控制电路及方法有效
申请号: | 201711490960.0 | 申请日: | 2017-12-30 |
公开(公告)号: | CN108333169B | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 张建;王再生;韩双来 | 申请(专利权)人: | 聚光科技(杭州)股份有限公司;杭州谱育科技发展有限公司 |
主分类号: | G01N21/67 | 分类号: | G01N21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 310052 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种电弧源的控制电路,所述控制电路包括:电源,所述电源的输出端连接引燃电路模块,输入端连接模数转换器,所述电源的输出电压幅值、相位和频率可调;引燃电路模块;与电极相连的霍尔电流检测模块;电压耦合传感模块,所述电压耦合传感模块设置在电极激发时产生的电磁场的磁感应线的垂直方向;电场探测模块,所述电场探测模块设置在所述电极周围使得在电极激发时探测电场强度;滤波模块;激发能量检测模块,所述激发能量检测模块的输出端连接模数转换器;模数转换器。本发明具有电源电压幅值、相位、频率可调,激发光谱能量稳定,样品适应性好等优点。 | ||
搜索关键词: | 电弧 控制电路 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电弧源的控制电路,其特征在于:所述控制电路包括:电源,所述电源的输出端连接引燃电路模块,输入端连接模数转换器,所述电源的输出电压幅值、相位和频率可调;引燃电路模块,所述引燃电路模块用于输出引燃高压,激发电极;霍尔电流检测模块,所述霍尔电流检测模块与所述电极相连,用于检测激发电流并传送至模数转换器;电压耦合传感模块,所述电压耦合传感模块设置在电极激发时产生的电磁场的磁感应线的垂直方向,用于检测激发电压;电场探测模块,所述电场探测模块设置在所述电极周围使得在电极激发时探测电场强度;滤波模块,所述滤波模块将所述电场探测模块输出的电压信号滤波后传输至激发能量检测模块;所述滤波模块对所述电压耦合传感模块输出的激发电压滤波后传输至模数转换器;激发能量检测模块,所述激发能量检测模块的输出端连接模数转换器;模数转换器,所述模数转换器用于采集激发电流、激发电压以及激发光谱能量。
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