[发明专利]芯片辐照装置在审
| 申请号： | 201711491183.1 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108133764A | 公开（公告）日： | 2018-06-08 |
| 发明（设计）人： | 顾晓明;肖林 | 申请（专利权）人： | 中广核中科海维科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G21K5/10 | 分类号： | G21K5/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种芯片辐照装置，包括扫描窗以及位于扫描窗下方的束下装置，所述束下装置包括工作台面、机械主体以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述机械主体内，所述驱动机构包括直线导轨、滚珠丝杆以及带动所述滚珠丝杆转动的动力源；所述直线导轨与所述滚珠丝杆螺纹连接，所述工作台面固定在所述直线导轨上并与所述直线导轨同步运动。本发明芯片辐照装置，束下装置的导轨系统采用高精度的滚动直线导轨，动作灵敏，启动力矩小，采用预紧滚珠丝杠加两组轴向推力可调滚动轴承，高低速运动平稳，保证束下装置具有稳定的运动精度，提高了束下装置机械主体的运动稳定性，维护简单。 | ||
| 搜索关键词： | 束下装置 直线导轨 辐照装置 机械主体 驱动机构 工作台面 滚珠丝杆 芯片 扫描窗 滚动轴承 滚动直线导轨 滚珠丝杆螺纹 运动稳定性 导轨系统 动作灵敏 滚珠丝杠 启动力矩 同步运动 轴向推力 动力源 高低速 可调 两组 预紧 转动 保证 维护 | ||
【主权项】：
芯片辐照装置，包括扫描窗以及位于扫描窗下方的束下装置，所述束下装置包括工作台面、机械主体以及驱动机构，所述驱动机构设置在所述机械主体内，所述驱动机构包括直线导轨、滚珠丝杆以及带动所述滚珠丝杆转动的动力源；所述直线导轨与所述滚珠丝杆螺纹连接，所述工作台面固定在所述直线导轨上并与所述直线导轨同步运动。
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