[发明专利]铝合金刻蚀真空反应腔体磁铁零件激光填丝焊接工艺在审
| 申请号： | 201711493114.4 | 申请日： | 2017-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN108213706A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 李文明;李生智;谯永鹏;张维;张元贺 | 申请（专利权）人： | 沈阳富创精密设备有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/21 | 分类号： | B23K26/21;B23K26/14;B23K26/70;B23K37/047 |
| 代理公司： | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人： | 俞鲁江 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及IC装备制造业特种焊接技术，是一种铝合金刻蚀真空反应腔体磁铁零件激光填丝焊接工艺，是采用先进激光填丝焊接技术将3mm厚磁铁密封盖板与300mm主体真空腔体进行焊接的焊接工艺。焊前进行化学清洗、焊接过程、组装过程以及焊后处理在万级洁净间中进行，其中焊接过程工艺参数为：激光功率3.5～4KW；焊接速度：4.2～5.5m/min；填丝速度：5.5～6.5m/min；保护气体：Ar，99.99％；组对间隙：0.4～0.6mm，离焦量‑7mm；光丝间距0.8～1.5mm；气体流量：10～12L/min。本发明可以解决铝合金刻蚀真空反应腔体内镶磁铁零件焊接时，磁铁对电弧，电子束流的影响，外形美观，零件变形小。 | ||
| 搜索关键词： | 磁铁 激光填丝焊接 真空反应腔 铝合金 刻蚀 焊接过程 焊接 焊接工艺 电弧 保护气体 电子束流 焊后处理 化学清洗 激光功率 零件变形 零件焊接 密封盖板 气体流量 特种焊接 真空腔体 组对间隙 组装过程 离焦量 光丝 填丝 美观 体内 制造业 洁净 | ||
【主权项】：
1.一种铝合金刻蚀真空反应腔体磁铁零件激光填丝焊接工艺,其特征在于：采用先进激光填丝焊接技术,将3mm厚磁铁密封盖板与300mm主体真空腔体进行焊接，腔体主体外壁一周镶嵌磁铁,磁铁用1.5～3mm铝合金盖板密封；所采用的焊丝牌号：R4047；焊丝直径：φ1.2mm；电源：IPG6KW激光器，焊前进行化学清洗、焊接过程及组装过程以及焊后处理在万级洁净间中进行；其中焊接过程工艺参数为：激光功率3.5～4KW；焊接速度：4.2～5.5m/min；填丝速度：5.5～6.5m/min；保护气体：氩气Ar，99.999％；组对间隙：0.4～0.6mm，离焦量‑7mm；光丝间距0.8～1.5mm；气体流量：10～12L/min，激光头倾斜9°,送丝角度45±10°,保护气与工件距离12±1mm,丝干伸出长度为6‑7mm。
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