[发明专利]SC石英晶棒X光定向粘板机及其一次粘结定位方法有效
申请号: | 201711494804.1 | 申请日: | 2017-12-31 |
公开(公告)号: | CN107870175B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 赵桂红;徐建民;郑玉南 | 申请(专利权)人: | 唐山国芯晶源电子有限公司 |
主分类号: | G01N23/20 | 分类号: | G01N23/20 |
代理公司: | 唐山永和专利商标事务所 13103 | 代理人: | 张云和 |
地址: | 064100 河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本发明涉及一种SC石英晶棒X光定向粘板机及其一次粘结定位方法,X光定向粘板机,包括粘板机台面,粘板机台面上设有粘板夹具组合、第一X光射线管、第一计数管、显示板;粘板夹具组合设有旋转工作台,旋转工作台连接固定夹具大托板,夹具大托板的中心处设置料板;料板的两侧均设置晶棒紧固夹具;本方法使晶棒经两次旋转定向、两次定位,即可将完成定向的晶棒粘接固定,避免了现有技术中两次粘接中间工步较多、效率较低的弊病,可提高生产效率,降低各工步的累计误差,同时提高晶棒的利用率。 | ||
搜索关键词: | sc 石英 定向 板机 及其 一次 粘结 定位 方法 | ||
【主权项】:
一种SC石英晶棒X光定向粘板机,包括粘板机台面,粘板机台面上设有粘板夹具组合;其特征在于:所述的粘板夹具组合的两侧分别设有第一X光射线管、第一计数管;粘板夹具组合的上方设有显示板;粘板夹具组合顶部两侧分别设有第二X光射线管、第二计数管;粘板夹具组合设有旋转工作台,旋转工作台连接固定夹具大托板,夹具大托板作为其他部件的连接基础,夹具大托板的中心处设置料板;料板通过滑动导轨与夹具大托板连接固定;料板的两侧均设置晶棒紧固夹具,料板一侧的晶棒紧固夹具通过燕尾导轨座、燕尾滑块与夹具大托板连接,燕尾导轨座、燕尾滑块通过燕尾调节板调整位置;料板另一侧的晶棒紧固夹具通过支撑滑块、支撑导轨与夹具大托板连接固定,上下定位螺钉固定支撑滑块的位置。
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