[发明专利]一种OLED功能层喷墨打印制备方法及其掩膜板有效

专利信息
申请号: 201711498195.7 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108183179B 公开(公告)日: 2019-08-20
发明(设计)人: 邓联谱 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: H01L51/56 分类号: H01L51/56;H01L51/00
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种OLED功能层喷墨打印制备方法,包括以下步骤:提供掩膜板基体,对掩膜板基体进行疏水处理,形成疏水层;在具有疏水层的掩膜板基体表面沉积缓冲层,形成掩膜板;将掩膜板的缓冲层与TFT阵列基板对位贴合,使掩模板阵列通孔与TFT阵列基板上预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;在掩模板上的阵列通孔处使用喷墨打印工艺,注入OLED HIL功能层墨水材料,再将掩膜板和TFT阵列基板一同进行干燥,使OLED功能层墨水干燥,随后去除掩膜板,得到OLED功能层。利用表面具有疏水层和缓冲层的掩膜板来采用喷墨打印法制备OLED功能层,省略了像素bank的制备工艺,大大简化了生产工艺,降低了生产成本,提高生产效率和OLED的质量。
搜索关键词: 掩膜板 功能层 喷墨打印 缓冲层 疏水层 墨水材料 阵列通孔 掩模板 制备 喷墨打印工艺 对位贴合 基体表面 墨水干燥 生产效率 疏水处理 制备工艺 省略 像素 掩膜 生产工艺 沉积 去除 生产成本
【主权项】:
1.一种OLED功能层喷墨打印制备方法,其特征在于,包括以下步骤:提供掩膜板基体,对所述掩膜板基体进行疏水处理,形成疏水层,所述掩膜板基体上开设有阵列通孔,所述阵列通孔用于喷墨打印工艺时注入OLED功能层墨水材料,所述阵列通孔与预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;在具有疏水层的所述掩膜板基体表面沉积缓冲层,形成掩膜板,所述掩膜板包括掩膜板基体、疏水层和缓冲层,所述疏水层设置在所述掩膜板基体相对的两侧,所述缓冲层设置在所述掩膜板基体一侧或相对两侧的所述疏水层上;将所述掩膜板的缓冲层与TFT阵列基板对位贴合,使所述阵列通孔与所述TFT阵列基板上所述预注入OLED功能层墨水材料的区域相对应设置;在所述阵列通孔处采用喷墨打印工艺注入所述OLED功能层墨水材料,再将所述掩膜板和所述TFT阵列基板一同进行干燥,使所述OLED功能层墨水材料干燥,随后去除所述掩膜板,得到OLED功能层。
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