[发明专利]用于RF加热系统的平面电感器有效
| 申请号： | 201711498710.1 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108668395B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 华奇;王昶阳 | 申请（专利权）人： | 恩智浦美国有限公司 |
| 主分类号： | H05B6/10 | 分类号： | H05B6/10;H05B6/06;H05B1/02;H03H7/38 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 倪斌 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 固态加热设备可结合到独立电器或其它系统中。所述加热设备可包括耦合在电极与射频(RF)源之间的阻抗匹配网络。所述阻抗匹配网络可以是可在加热操作期间调整的可变阻抗匹配网络。所述阻抗匹配网络可包括由安置在基板的任一侧的图案化导电层形成的平面电感器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 rf 加热 系统 平面 电感器 | ||
【主权项】：
1.一种系统，其特征在于，包括：射频(RF)信号源，所述RF信号源被配置成产生RF信号；阻抗匹配网络，所述阻抗匹配网络包括：第一平面电感器；第一电极，所述第一电极通过所述阻抗匹配网络的所述平面电感器而电气耦合到所述RF信号源；以及第二电极。
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