[实用新型]一种长程表面等离子激元波导耦合器有效

专利信息
申请号: 201720004839.1 申请日: 2017-01-04
公开(公告)号: CN206573741U 公开(公告)日: 2017-10-20
发明(设计)人: 肖经;刘平;韦启钦;王泉 申请(专利权)人: 桂林电子科技大学
主分类号: G02B6/30 分类号: G02B6/30
代理公司: 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司45112 代理人: 刘梅芳
地址: 541004 广西*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型公开了一种长程表面等离子激元波导耦合器,其特征是,包括顺序叠接的第一SiO2层、Ag层和第二SiO2层,所述第一SiO2层和第二SiO2层对称设置在Ag层的两面。这种耦合器能使入射光突破衍射极限,高效耦合进硅基光子器件中,能提高光纤与硅基光子器件之间的耦合效率,而且此种长程表面等离子激元波导耦合器结构简单,对于工艺要求低,易于加工,成本较低。
搜索关键词: 一种 长程 表面 等离子 波导 耦合器
【主权项】:
一种长程表面等离子激元波导耦合器,其特征是,包括顺序叠接的第一SiO2层、Ag层和第二SiO2层,所述第一SiO2层和第二SiO2层对称设置在Ag层的两面。
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