[实用新型]一种纳米镀膜设备进料装置有效
| 申请号： | 201720006054.8 | 申请日： | 2017-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN206359604U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 无锡荣坚五金工具有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;B05B5/16 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心21200 | 代理人： | 梅洪玉 |
| 地址： | 江苏省无锡市惠*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种纳米镀膜设备进料装置，属于真空镀膜技术领域。该装置，输气管路前端与工艺气体管路相连通，后端与反应腔室相连通，蒸发容器安装于输气管路内；化学单体进料管安装于输气管路和蒸发容器上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部；所述蒸发容器底部连接有电热管，电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。该装置升温速度快，可充分保证单体加热汽化的工作稳定性，加热方式便捷可靠，同时利用工艺气体的气流，引导单体蒸汽进入反应腔室，可避免单体蒸汽在蒸发容器内和管路内密度过高，有效降低化学单体在汽化区域聚合的可能性，避免出现管路堵塞，降低设备的维护成本，增加设备量产稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 镀膜 设备 进料 装置 | ||
【主权项】：
一种纳米镀膜设备进料装置，其特征在于，包括反应腔室(1)、蒸发容器(2)、电热管(3)、输气管路(4)、工艺气体管路(5)和化学单体进料管(6)；所述输气管路(4)前端与工艺气体管路(5)相连通，后端与反应腔室(1)相连通；所述蒸发容器(2)安装于输气管路(4)内；所述化学单体进料管(6)安装于输气管路(4)和蒸发容器(2)上部，且其下端伸入蒸发容器内部,其上端伸出输气管路外部；所述蒸发容器底部连接有电热管(3)，且电热管伸入蒸发容器底部的U型槽内。
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