[实用新型]伸缩式晶舟夹具

摘要

本揭示提供一种伸缩式晶舟夹具，包括一对连动杆，沿着第一方向间隔设置，且每一所述连动杆的第一端具有一凸块；一滑块组，设置在所述对连动杆之间，具有一八字型斜向开槽，其中所述对连动杆的所述对凸块分别嵌设在所述八字型斜向开槽的相对的两斜向开槽内；以及一对夹持臂，其一端与对应的所述连动杆连接，以及另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件。当所述滑块组沿着一第三方向移动时，所述对连动杆随着所述八字型斜向开槽而沿着在所述第一方向上的直线相对移动，进而改变所述对连动杆之间的距离。

主权项

一种伸缩式晶舟夹具，适用于设置在一高架传输系统以传送一晶舟，所述高架传输系统包含沿着一第一方向延伸的轨道，所述轨道具有一第一面和相对所述第一面的第二面，其特征在于，所述伸缩式晶舟夹具包括：一对连动杆，沿着所述第一方向间隔设置在所述轨道的所述第一面，且每一所述连动杆的第一端具有一凸块；一滑块组，设置在所述对连动杆之间，具有一八字型斜向开槽，其中所述对连动杆的所述对凸块分别嵌设在所述八字型斜向开槽的相对的两斜向开槽内，使得所述一对凸块可沿着所述八字型斜向开槽滑动；以及一对夹持臂，沿着在一第二方向上且垂直所述第一面和所述第二面的直线延伸，其中所述夹持臂的一端与对应的所述连动杆连接，以及所述夹持臂的另一端具有一用于卡扣在所述晶舟上的卡扣件；其中当所述滑块组沿着一第三方向移动时，所述对连动杆随着所述八字型斜向开槽而沿着在所述第一方向上的直线相对移动，进而改变所述对连动杆之间的距离。