[实用新型]一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统有效

专利信息
申请号: 201720014159.8 申请日: 2017-01-06
公开(公告)号: CN206470585U 公开(公告)日: 2017-09-05
发明(设计)人: 姚星星;陈莫发 申请(专利权)人: 北京彩讯科技股份有限公司
主分类号: G05B19/05 分类号: G05B19/05;C23F1/46
代理公司: 北京神州华茂知识产权有限公司11358 代理人: 吴照幸
地址: 100193 北京市海淀区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型涉及一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统,包括PLC分别与液位传感器、水泵、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接,网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机、本地监控电脑和远程监控电脑电连接,气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器电连接,蚀刻机与废液收集槽连通,所述废液收集槽与废液收集罐连通,废液收集罐与流量计连通,流量计与调整槽连通,调整槽与电解槽连通,电解槽与再生液罐连通,电解槽还通过抽风机一与废气塔连通,再生液罐与调药罐连通,调药罐与再生子液罐连通,再生子液罐与蚀刻机连通,本实用新型能自动监控;能远程诊断,节约维修时间,减少经济损失。
搜索关键词: 一种 具备 智能 监控 功能 蚀刻 回收 系统
【主权项】:
一种具备智能监控功能的蚀刻液回收系统,其特征在于包括:蚀刻机,废液收集槽,废液收集罐,调整槽,电解槽,废气塔,再生液罐,调药罐,再生子液罐,液位传感器一,液位传感器二,液位传感器三,液位传感器四,液位传感器五,液位传感器六,气体浓度传感器一,气体浓度传感器二,气体浓度检测主机,流量计,网路交换机,网络摄像机一,网络摄像机二,网络摄像机三,网络摄像机四,水泵一,水泵二,水泵三,水泵四,水泵五,水泵六,水泵七,热交换机,温度传感器,抽风机一、抽风机二,PLC,本地监控电脑和远程监控电脑,所述PLC分别与液位传感器一、液位传感器二、液位传感器三、液位传感器四、液位传感器五、液位传感器六、水泵一、水泵二、水泵三、水泵四、水泵五、水泵六、水泵七、网路交换机、气体浓度检测主机、温度传感器、流量计、抽风机一、抽风机二电连接,所述网路交换机分别与气体浓度检测主机、网络摄像机一、网络摄像机二、网络摄像机三、网络摄像机四、本地监控电脑和远程监控电脑电连接,气体浓度检测主机分别与气体浓度传感器一、气体浓度传感器二电连接,所述蚀刻机与废液收集槽连通,所述废液收集槽通过水泵一与废液收集罐连通,废液收集罐通过水泵二与流量计连通,流量计与调整槽连通,调整槽与通过水泵三与电解槽连通,电解槽通过水泵四与再生液罐连通,电解槽还通过抽风机一与废气塔连通,再生液罐通过水泵五与调药罐连通,调药罐通过水泵六与再生子液罐连通,再生子液罐通过水泵七与蚀刻机连通,所述液位传感器一位于废液收集槽内,所述液位传感器二位于废液收集罐内,所述液位传感器三位于调整槽内,所述液位传感器四位于再生液罐内,所述液位传感器五位于调药罐内,所述液位传感器六位于再生子液罐,所述温度传感器、热交换机均位于调整槽内,所述气体浓度传感器一位于电解槽内,所述气体浓度传感器二位于废气塔内。
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