[实用新型]一种DMD光刻投影镜头有效
| 申请号： | 201720016844.4 | 申请日： | 2017-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN206348501U | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 向先兵;方俊丹;陈铭勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市灿锐科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种DMD光刻投影镜头，从物方起到镜方依次包括第一双凸镜片、第二弯月镜片、第三镜片组、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片，所述第三镜片组、第四弯月镜片间设置有光阑；所述第三镜片组和所述第六镜片组分别由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成；所述第一双凸镜片设置在第一镜筒的内腔的前端，所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片依次设置在第二镜筒的内腔中，所述第一镜筒与第二镜筒螺纹连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmd 光刻 投影 镜头 | ||
【主权项】：
一种DMD光刻投影镜头，其特征在于：从物方起到镜方依次包括：第一双凸镜片、第二弯月镜片、第三镜片组、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片，所述第三镜片组、第四弯月镜片间设置有光阑；所述第三镜片组和所述第六镜片组分别由一个双凸镜片和一个平凹面镜片胶合而成；所述第一双凸镜片设置在第一镜筒的内腔的前端，所述第二弯月镜片、第三镜片组、光阑、第四弯月镜片、第五平凸镜片、第六镜片组、第七弯月镜片依次设置在第二镜筒的内腔中，所述第一镜筒与第二镜筒螺纹连接。
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