[实用新型]基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置

摘要

本实用新型公开了一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置，将载物台或者光学组件设计为可旋转式，通过调整M1反射镜与样品平面之间的角度，使激光束光程发生变化，从而使干涉条纹产生移动，再依据相关公式计算得到待测样品的厚度；由于该测量装置仅需要控制M1反射镜与样品平面之间的角度，就可实现对样品厚度的测量，减少了需要调整的元件，从而使测量误差极小，这样不仅简化了测量过程，而且提高了样品厚度测量精度；此外，由于测量原理简单且不需要高精度的昂贵仪器，因此可以将光路组件集成在一体化的装置内，将装置设计成小型化的便携装置。

主权项

一种基于迈克尔逊干涉原理的非接触式样品厚度测量装置，其特征在于包括可旋转载物台(3)以及主要由M1反射镜(1)、M2反射镜(2)、激光源(5)、接收器件(6)、分光板(7)和补偿板(8)构成的光路组件，所述激光源(5)、分光板(7)、补偿板(8)和M2反光镜(2)沿同一方向依次排列，所述分光板(7)与补偿板(8)相互平行且均与M1反射镜镜面成45°夹角；所述可旋转载物台(3)位于M1反射镜(1)和分光板(7)之间；分光板(7)将激光源(5)发射的激光分为两束，其中一束激光经位于可旋转载物台(3)上的样品(4)入射到M1反射镜(1)，另一束激光经补偿板(8)入射到M2反光镜(2)；由M1反光镜(1)反射回的反射光经可旋转载物台(3)上的样品(4)、分光板(7)由接收器件(6)接收，由M2反光镜(2)反射回的反射光经补偿板(8)再由分光板(7)反射至接收器件(6)；调整可旋转载物台(3)的旋转角度，使两束反射光在接收器件(6)上形成干涉条纹。