[实用新型]带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀

摘要

本实用新型涉及翻板阀，旨在提供一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀。其翻板位于板阀腔内，一侧通过活动铰链固定在板阀腔上；驱动轴贯穿板阀腔的侧壁，末端通过双摇杆机构与翻板实现连接驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆、连杆、从动摇杆活动连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。该产品能够完成自锁，保证在气缸停止动作时翻板阀不会因板阀腔两侧压力差过大而使翻板阀意外打开，安全可靠。限位凸轮与限位块保证翻板阀不会因为双摇杆机构的过运动而重新打开，保证翻板阀的密封。结构紧凑，能够很好的满足腔体结构尺寸的要求。

主权项

一种带自锁和限位功能的用于平板式PECVD设备的翻板阀，具有中空的板阀腔，阀门通道是设于板阀腔壁上的开孔；其特征在于，用于封闭阀门通道的翻板位于板阀腔内部，其一侧通过活动铰链固定在板阀腔的内壁上；该翻板阀还包括驱动气缸和驱动轴，两者通过运动转换机构连接，用于将气缸推杆的直线运动转换为驱动轴的旋转运动；驱动轴贯穿板阀腔的一个侧壁，其位于板阀腔中的末端通过双摇杆机构与翻板实现连接：驱动轴与主动摇杆的一端固定连接；主动摇杆的另一端通过连杆与从动摇杆的一端连接，从动摇杆的另一端固定在翻板上，连杆与主动摇杆和从动摇杆之间均为活动连接；当翻板阀位于关闭位置时，连杆与主动摇杆呈共线状态，使双摇杆机构处于死点位置以实现自锁。