[实用新型]一种真空镀膜机的工件架有效
| 申请号： | 201720022931.0 | 申请日： | 2017-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN206359609U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王可 | 申请（专利权）人： | 梯爱司表面处理技术（绵阳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 621000 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种真空镀膜机的工件架，包括工件转台、承载转盘、主转盘和转轴。若干工件转台规则布设于承载转盘上；若干承载转盘中心纵向排列固定于转轴上；若干转轴规则排列固定设置于主转盘的上表面。工件转台上表面固设有工件座，工件座处设有工件定位孔。本实用新型通过多级旋转机构带动工件在真空镀膜设备中同时进行多向旋转，有利于保证各工件镀膜工位的一致性，从而保证工件镀膜完整性和均一度；同时，多向旋转有利于匀化真空镀膜环境中靶材溅射气氛，从而提高靶材利用效率，进一步提高工件镀膜均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 工件 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机的工件架，其特征在于，包括工件转台(1)、承载转盘(2)、主转盘(3)和转轴(4)，若干所述工件转台(1)规则布设于所述承载转盘(2)上，若干所述承载转盘(2)中心纵向排列固定于所述转轴(4)上，若干所述转轴(4)规则排列固定设置于所述主转盘(3)的上表面，所述工件转台(1)上表面固设有工件座(5)，所述工件座(5)处设有工件定位孔(51)。
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