[实用新型]一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备

摘要

本实用新型提供一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，其结构包括移动轮、控制机体、支撑板、气相沉积箱、观测器，所述移动轮与控制机体活动连接，所述控制机体通过支撑板与气相沉积箱连接，所述观测器通过控制机体与气相沉积箱连接，所述控制机体包括接电开关、接电旋钮、接电头、表计、控制开关、外接头、调节旋钮、指示灯、按键，所述接电开关与控制机体活动连接，所述接电旋钮设于控制机体上，所述控制机体固定设有接电头，所述表计设于控制机体上，本实用新型的一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，通过设有耐温摄像头、显象器，使设备能够对石墨烯的气相沉淀箱内进行观测，方便了用户对气相沉淀完成度掌握的问题。

主权项

一种带观测石墨烯薄膜连续规模化沉积设备，其特征在于：其结构包括移动轮(1)、控制机体(2)、支撑板(3)、气相沉积箱(4)、观测器(5)，所述移动轮(1)与控制机体(2)活动连接，所述控制机体(2)通过支撑板(3)与气相沉积箱(4)连接，所述观测器(5)通过控制机体(2)与气相沉积箱(4)连接，所述控制机体(2)包括接电开关(20)、接电旋钮(21)、接电头(22)、表计(23)、控制开关(24)、外接头(25)、调节旋钮(26)、指示灯(27)、按键(28)，所述接电开关(20)与控制机体(2)活动连接，所述接电旋钮(21)设于控制机体(2)上，所述控制机体(2)固定设有接电头(22)，所述表计(23)设于控制机体(2)上，所述控制机体(2)固定设有控制开关(24)，所述外接头(25)设于控制机体(2)上，所述调节旋钮(26)与控制机体(2)活动连接，所述控制机体(2)固定设有指示灯(27)，所述按键(28)设于控制机体(2)上，所述气相沉积箱(4)包括混气罐(40)、连接管(41)、箱盖(42)，所述混气罐(40)通过连接管(41)与气相沉积箱(4)活动连接，所述箱盖(42)与气相沉积箱(4)活动连接，所述观测器(5)包括耐温摄像头(50)、显象器(51)、显象开关(52)，所述显象器(51)通过摄像头(50)与气相沉积箱(4)连接，所述观测器(5)通过显象器(51)与控制机体(2)连接，所述显象开关(52)设于显象器(51)上。