[实用新型]一种多晶硅废气处理与余热利用装置有效
申请号: | 201720025889.8 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN206424773U | 公开(公告)日: | 2017-08-22 |
发明(设计)人: | 胡小冬;姜希猛;崔明现;贾曦;张东 | 申请(专利权)人: | 乐山职业技术学院;乐山太阳能研究院;四川友新能拓科技有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/00;C01B33/107;F28B1/02;F28C3/08 |
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地址: | 614000 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅废气处理与余热利用装置,废气处理与余热利用装置包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽,所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中,废气管末端连接所述的废气淋洗塔A,废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中,废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B,废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中,废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管;所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部,并在碱液管管路中设置有碱液泵;所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构。通过本实用新型,氯硅烷得到有效的回收利用,解决环境污染,降低能耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 废气 处理 余热 利用 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅废气处理与余热利用装置,其特征在于,包括废气冷凝回收罐、废气淋洗塔A、废气淋洗塔B、碱液池和液封水槽,所述的废气冷凝回收罐串接在用于废气汇总的废气管中,废气管末端连接所述的废气淋洗塔A,废气淋洗塔A的底部设置在碱液池中,废气淋洗塔A通过连通管连接废气淋洗塔B,废气淋洗塔B的底部设置在碱液池中,废气淋洗塔B通过排气管连接设置在液封水槽的放空管;所述的碱液池还通过碱液管分别连接至废气淋洗塔A和废气淋洗塔B的底部,并在碱液管管路中设置有碱液泵;所述的废气淋洗塔A的反应区设置有余热利用机构,所述的余热利用机构的一端设置有进水口,另外一端设置有出水口,进水口与流入冷水的水泵、水管连接。
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