[实用新型]用于硅片运输的移动小车有效
| 申请号： | 201720025972.5 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN206312880U | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 应小专 | 申请（专利权）人： | 宁波荣升新能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司33100 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 315600 浙江省宁波市宁海县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于硅片运输的移动小车，其特征在于包括设有储液框的小车本体，储液框内设置有搁置架，搁置架包括设置在左右两侧的调节板、前后设置的两个分隔条与设置在底部的两个搁置条，调节板上设置有第一调节槽口组件与第二调节槽口组件，分隔条通过第一调节槽口组件与调节板连接，两个分隔条一前一后安装在调节板上并通通过第一调节槽口组件进行前后移动调节，搁置条通过第二调节槽口组件与调节板连接，两个搁置条一前一后安装在调节板上并通通过第二调节槽口组件进行上下移动调节。能够将运输与对硅片的处理同步起来，且可调节能够适应不同大小的硅片。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 硅片 运输 移动 小车 | ||
【主权项】：
用于硅片运输的移动小车，其特征在于包括设有储液框的小车本体，所述的储液框内设置有搁置架，所述的搁置架包括设置在左右两侧的调节板、前后设置的两个分隔条与设置在底部的两个搁置条，所述的调节板上设置有第一调节槽口组件与第二调节槽口组件，所述的分隔条通过第一调节槽口组件与调节板连接，两个分隔条一前一后安装在调节板上并通通过第一调节槽口组件进行前后移动调节，所述的搁置条通过第二调节槽口组件与调节板连接，两个搁置条一前一后安装在调节板上并通通过第二调节槽口组件进行上下移动调节。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
