[实用新型]一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计有效
| 申请号： | 201720029156.1 | 申请日： | 2017-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN206362822U | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 卢乾波;白剑;汪凯巍;焦旭芬;韩丹丹;陈佩文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01P15/093 | 分类号： | G01P15/093 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计。主要由封装外壳和布置在封装外壳中的微机械加速度敏感单元和光学微位移测量单元组成，微机械加速度敏感单元位于光学微位移测量单元正下方；微机械加速度敏感单元从上到下依次为光栅、质量块‑悬臂梁‑硅基底微机械结构和下限位板。本实用新型能保证微机械结构在大冲击下不失效，固定封装的光学微位移测量单元能保证各个光学元件在大冲击下不损毁，相对位置保持不变，从而实现抗大冲击的高精度加速度测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抗大 冲击 高精度 微光 机电 系统 加速度计 | ||
【主权项】：
一种抗大冲击的高精度微光机电系统加速度计，其特征在于：所述加速度计主要由封装外壳(14)和布置在封装外壳(14)中的微机械加速度敏感单元(1)和光学微位移测量单元(2)组成，微机械加速度敏感单元(1)位于光学微位移测量单元(2)正下方；所述微机械加速度敏感单元(1)从上到下依次为光栅(3)、质量块‑悬臂梁‑硅基底微机械结构和下限位板(8)，所述的光学微位移测量单元(2)和微机械加速度敏感单元(1)均通过聚合物固定封装材料(13)封装在封装外壳(14)中。
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