[实用新型]一种基于随机编码混合光栅的可变剪切率的波前传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于随机编码混合光栅的可变剪切率的波前传感器。本实用新型包括由振幅光栅和相位光栅所组成的随机编码混合光栅，CCD及机械调节装置。待测波前经光栅后衍射产生四个子波，产生的四波前干涉图由CCD接收。本实用新型的技术特点是实现了剪切率随光栅与CCD之间距离改变而连续变化，使波前传感器通用性更强。横向剪切干涉中，剪切率选取小检测精度高，但灵敏度低，剪切率过大则精度下降，因此在检测中实现任意剪切率选择具有重要意义。本实用新型基于共路横向剪切干涉原理，无额外参考光路，抗干扰能力强，抗震性好，稳定性高，能在一般的环境中实现高精度检测。

主权项

一种基于随机编码混合光栅的可变剪切率的波前传感器；其特征在于在现有传感器的基础上设计了能够实现可变剪切率的传动装置；具体包括传动装置、随机编码混合光栅、配合固定件、CCD；传动装置包括转动件、光栅装持件和螺钉，转动件内圈设置有带螺纹的螺旋线；配合固定件的上部分设置在转动件和光栅装持件之间，下部分用于将整个传动装置与CCD固定；转动件内侧壁上开有长条形的凹槽，光栅装持件的外壁上开有螺纹孔，螺钉将转动件和配合固定件固定于一体，同时螺钉的另一端设置在转动件内侧壁的凹槽内；随机编码混合光栅设置在光栅装持件靠近CCD的一端。