[实用新型]一种散热均匀生长多尺寸蓝宝石的长晶炉

摘要

本实用新型公开一种散热均匀生长多尺寸蓝宝石的长晶炉，包括真空电阻炉、环形外加热器、环形内加热器、坩埚、真空泵、冷却组件和冷却气体管，真空电阻炉内部设置有环形外加热器和环形内加热器，环形外加热器和环形内加热器底端边缘处的壁厚小于环形加热器其他位置的壁厚，坩埚设置在两环形加热器之间，且均匀对称分布，环形外加热器和环形内加热器之间的间距大于坩埚的直径。每只坩埚底部均设置热交换器，坩埚置于热交换器的顶端，坩埚底部中心与热交换器顶端中心相重合，冷却气体管伸入到真空电阻炉底部，真空泵设置在真空电阻炉的侧面。本实用新型结构简单，实现了多尺寸蓝宝石的生长，也极大的提高了晶体的成晶率。

主权项

一种散热均匀生长多尺寸蓝宝石的长晶炉，其特征在于：包括真空电阻炉（1）、环形外加热器（2）、环形内加热器（3）、坩埚（4）、真空泵（5）、冷却组件（6）和冷却气体管（7），所述真空电阻炉（1）内部设置有环形外加热器（2）和环形内加热器（3），所述冷却气体管（7）的出口端由真空电阻炉（1）的底部伸入真空电阻炉（1）内，冷却气体管（7）的入口端与氦气源相通，所述真空泵（5）设置在真空电阻炉（1）的侧面，并通过管道与真空电阻炉（1）内部联通，所述环形外加热器（2）和环形内加热器（3）之间均匀设置有多个坩埚（4），坩埚（4）底部设置有冷却组件（6），坩埚（4）底部与冷却组件（6）顶端接触，两者中心同轴，所述冷却组件（6）内具有与用于通入冷却介质的冷却介质流通道（8）。