[实用新型]一种真空压强控制仪有效
| 申请号： | 201720039478.4 | 申请日： | 2017-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN206348673U | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 熊慧;贺良武;柳灵 | 申请（专利权）人： | 成都兴睿宝电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D16/20 | 分类号： | G05D16/20 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙)51220 | 代理人： | 郭受刚 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空压强控制仪，包括电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统、真空压强控制系统、模数转换模块、微处理器、信号输出模块，电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统分别与模数转换模块连接，真空压强控制系统、模数转换模块、信号输出模块分别与微处理器连接；电阻真空规测量系统用于测量低真空环境，电离真空规测量系统用于测量高真空环境，真空压强控制系统作为执行机构，用于调节工质气体的输入。本实用新型实现了传统真空计不能做到的压强控制；同时，仪表本身成本和使用成本都有极大降低；此外，相比其他系统集成类控制方案，本实用新型的动态响应速度更高，更适用于真空度快速剧烈波动的工艺场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 压强 控制 | ||
【主权项】：
一种真空压强控制仪，其特征在于，包括电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统、真空压强控制系统、模数转换模块、微处理器、信号输出模块，所述电阻真空规测量系统、电离真空规测量系统分别与模数转换模块连接，所述真空压强控制系统、模数转换模块、信号输出模块分别与微处理器连接；所述电阻真空规测量系统用于测量低真空环境，所述电离真空规测量系统用于测量高真空环境，所述真空压强控制系统作为执行机构，用于调节工质气体的输入。
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