[实用新型]离子源

摘要

一种离子源，包含有一电弧室及一电源供应装置；其中该电弧室于一外壳内设有多个内板、一萃取电极板及一热电子产生元件，而该电源供应装置则包含有一加热电源供应单元及一低压电弧电源供应单元；其中该加热电源供应单元耦接至该热电子产生元件，使该热电子产生元件加热至一预定温度，而该低压电弧电源供应单元则产生20V至45V低电压范围的输出电压至该多个内板及该热电子产生元件，使该热电子产生元件产生的热电子能量减弱，有效减少不被需要的二价或三价带正电的离子，相对提高离子束(萃取电流)中有用离子的比例。

主权项

一种离子源，其特征在于，包括：一电弧室，包含有：一外壳，包含有多个内壁，并具有一上开口及一供一掺杂源气体通入该电弧室内的底进气孔；多个内板，分别设置于该外壳的对应内壁上；一萃取电极板，盖合于该外壳的上开口，该萃取电极板中间形成有一第一萃取间隙；以及一热电子产生元件，电隔离地设置于该外壳的一侧及对应该外壳一侧的内板上；以及一电源供应装置，包含有：一使该热电子产生元件加热至一预定温度的加热电源供应单元，耦接至该热电子产生元件；以及一产生20V至45V输出电压的低压电弧电源供应单元，耦接至该多个内板及该热电子产生元件。