[实用新型]扩散器及PECVD设备有效
| 申请号： | 201720043554.9 | 申请日： | 2014-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN207002827U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | N·南比亚尔;天田欣也 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C22C21/00 | 分类号： | C22C21/00;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文所述的实施例通常涉及用于半导体处理腔室中的具有减少的锌含量的铝合金喷头。喷头可被用于适用于制造低温多晶硅液晶显示器或LTPS有机发光二极管显示器的处理腔室中，所述显示器可通过薄膜晶体管控制。更具体地说，本文所述的实施例涉及锌减少的喷头。 | ||
| 搜索关键词： | 扩散器 pecvd 设备 | ||
【主权项】：
一种用于处理基板的扩散器，包含：主体，所述主体具有通过所述主体布置的多个通道，所述主体包含锌减少的6061铝合金。
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