[实用新型]等离子体测量装置和等离子体测量设备有效
| 申请号： | 201720055196.3 | 申请日： | 2017-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN206609893U | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 肖珂;郑志远;高禄;张思齐;梁田;汤伟冲 | 申请（专利权）人： | 中国地质大学（北京） |
| 主分类号： | G01P3/68 | 分类号： | G01P3/68 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人： | 龙礼妹 |
| 地址： | 100083*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种等离子体测量装置和等离子体测量设备。等离子体测量装置，包括支撑板、激光发射器、摆块、光源、信号采集器和示波器；支撑板的两面分别连接烧蚀薄膜和激光发射器，摆块设置在支撑板的一面，激光束投射在支撑板上，使烧蚀薄膜产生等离子体驱动摆块摆动；光源的光路穿过摆块照射在信号采集器上传输至示波器。解决了现有技术中，采用烧蚀靶的悬吊法不能测量薄膜烧蚀产生的动量的技术问题，将薄膜连接支撑板上，准确测量产生的等离子体动量。本实用新型还提供一种薄膜动量测量设备，包括安装架，安装架内连接等离子体测量装置。解决了测量薄膜动量时，薄膜不能固定的技术问题，该设备连接牢固，能够准确测量薄膜等离子体的动量。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 测量 装置 设备 | ||
【主权项】：
一种等离子体测量装置，其特征在于，包括支撑板(11)、激光发射器(12)、摆块(13)、光源(14)、信号采集器(15)和示波器(16)；所述支撑板(11)的一面连接能够产生等离子体的烧蚀薄膜，所述支撑板(11)的另一面设置激光发射器(12)，所述摆块(13)设置在支撑板(11)的一面，所述激光发射器(12)发射的激光投射在支撑板(11)上，以使支撑板(11)上连接的烧蚀薄膜产生等离子体，并驱动摆块(13)摆动；所述光源(14)照射时产生的光路(141)穿过摆块(13)照射在信号采集器(15)上，所述信号采集器(15)与示波器(16)连接。
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