[实用新型]溅镀旋转靶磁棒总成有效
| 申请号： | 201720055779.6 | 申请日： | 2017-01-16 |
| 公开（公告）号： | CN206418193U | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 霍凯;陈宥廷 | 申请（专利权）人： | 苏州凡特真空溅镀科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及溅镀旋转靶磁棒总成，包括磁座本体以及强磁，强磁粘附于磁座本体外，强磁由S极强磁和N极强磁间隔设置，相邻的S极强磁和N极强磁之间间隔一定距离。本实用新型的优点是通过实际的上机测试，将S极强磁和N极强磁之间距离调整至22mm时，提高耗材利用率至70％，页减少了更换耗材的次数。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 靶磁棒 总成 | ||
【主权项】：
溅镀旋转靶磁棒总成，其特征在于：包括磁座本体以及强磁，所述强磁粘附于磁座本体外，所述强磁由S极强磁和N极强磁间隔设置，相邻所述的S极强磁和N极强磁之间间隔一定距离。
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