[实用新型]一种大尺度自支撑铍薄膜的制备装置有效
| 申请号： | 201720060159.1 | 申请日： | 2017-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN206396319U | 公开（公告）日： | 2017-08-11 |
| 发明（设计）人： | 李恺;吴卫东;罗炳池;罗江山;张吉强;谭秀兰;李文琦;金雷;何玉丹 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/14;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 绵阳市博图知识产权代理事务所(普通合伙)51235 | 代理人： | 邓昉 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种大尺度自支撑铍薄膜的制备装置，包括沉积室（1），所述沉积室（1）内上部设置有基片架（2），所述基片架（2）底部设置有基片（3），所述基片（3）下方设置有挡板（4），所述沉积室（1）内下部还设置有坩埚(6)、Ta蒸发舟（7）及电极（8），所述坩埚(6)、Ta蒸发舟（7）均固定在电极（8）上，坩埚(6)位于 Ta蒸发舟（7）内，所述电极（8）通过电源（10）供电，所述坩埚(6)底部还设置有热电偶（11），所述沉积室（1）还连接真空系统（9）；采用本实用新型的装置，克服了金属铍的极大脆性，可制备最大尺寸达数十毫米、厚度介于1μm‑10μm的自支撑铍薄膜，而且所得的自支撑铍薄膜质量优良。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺度 支撑 薄膜 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种大尺度自支撑铍薄膜的制备装置，其特征在于：包括沉积室（1），所述沉积室（1）内上部设置有基片架（2），所述基片架（2）底部设置有基片（3），所述基片（3）下方设置有挡板（4），所述沉积室（1）内下部还设置有坩埚(6)、 Ta蒸发舟（7）及电极（8），所述坩埚(6)、 Ta蒸发舟（7）均固定在电极（8）上，坩埚(6)位于 Ta蒸发舟（7）内，所述电极（8）通过电源（10）供电，所述坩埚(6)底部还设置有热电偶（11），所述沉积室（1）还连接真空系统（9）。
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