[实用新型]一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统有效
申请号: | 201720060593.X | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN206562474U | 公开(公告)日: | 2017-10-17 |
发明(设计)人: | 蔺崇召;姚刚;孙占喜;李吾臣 | 申请(专利权)人: | 许昌天戈硅业科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/20 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 | 代理人: | 时国珍 |
地址: | 461700 河*** | 国省代码: | 河南;41 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本实用新型涉及一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体、籽晶杆和冷却室,炉体上部设有副炉,炉体的顶部下方设有冷却室,所述冷却室为环形套管结构,冷却室内填充有高相变潜热的液体,冷却室的上端连接有通往炉体外部的回流管,所述籽晶杆的下端穿过副炉并伸入炉体内部,冷却室套设在籽晶杆外部。本实用新型可通过冷却室用来调节籽晶的温度使其保持在适宜长晶的条件,冷却室内高相变潜热的液体在汽化后可以通过冷却水管冷却液化回流入冷却室,当炉内籽晶因操作不当融化后可以不用冷却炉体而仅需将籽晶杆下端提升至副炉,然后将副炉冷却后更换籽晶后再伸入炉内,降低了能量损失,本实用新型设计简单,使用方便,易维修。 | ||
搜索关键词: | 一种 蓝宝石 长晶炉 籽晶 冷却 更换 系统 | ||
【主权项】:
一种蓝宝石长晶炉籽晶冷却与更换系统,包括炉体(1)、籽晶杆(3)和冷却室(4),所述炉体(1)上部设有副炉(2),炉体(1)与副炉(2)通过电动阀门(5)隔开,炉体(1)的顶部下方设有冷却室(4),所述冷却室(4)为环形套管结构,且冷却室(4)的套管内径大于籽晶杆(3)的直径,冷却室(4)内填充有高相变潜热的液体,冷却室(4)的上端连接有通往炉体(1)外部的回流管(6),所述籽晶杆(3)的下端穿过副炉(2)并伸入炉体(1)内部,且籽晶杆(3)的下端端头连接有籽晶(7),冷却室(4)套设在籽晶杆(3)外部,籽晶杆(3)的上部与提拉装置连接,所述副炉(2)下部侧壁设有输入冷气的进气阀(8),上部设置有可密闭配合的炉盖,中间部位连接有抽真空系统(9)。
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