[实用新型]太赫兹线列探测装置有效
申请号: | 201720063799.8 | 申请日: | 2017-01-19 |
公开(公告)号: | CN206412369U | 公开(公告)日: | 2017-08-15 |
发明(设计)人: | 周炜;黄志明;姚娘娟;曲越;吴敬;高艳卿;黄敬国;张飞;尹一鸣;褚君浩 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海技术物理研究所 |
主分类号: | H01L31/02 | 分类号: | H01L31/02;H01L31/0232;H01L31/08;G01J1/42 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司31213 | 代理人: | 郭英 |
地址: | 200083 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本专利公开了一种太赫兹线列探测装置。该探测装置由八元线列式探测器件、组合聚焦装置、可控温杜瓦单元、前置放大器及读出电路等四部分组成。该线列太赫兹探测装置通过八元铜光锥和聚四氟乙烯透镜组成的聚焦装置会聚入射的太赫兹波;通过平面耦合型碲镉汞探测器件接收太赫兹波并将其转换为电信号,并由前置放大器及读出电路放大并读出;可控温杜瓦单元用于提供合适的工作温度。该种线列探测器件响应范围可覆盖0.03‑4THz,可在近室温及液氮(77‑250K)条件下实现高灵敏度线列扫描式太赫兹探测。 | ||
搜索关键词: | 赫兹 探测 装置 | ||
【主权项】:
一种太赫兹线列探测装置,包括八元线列探测器件(1)、组合聚焦装置(2)、可控温杜瓦单元(3)、前置放大器及读出电路(4),其特征在于:所述的八元线列式探测器件(1)由氧化铝衬底转接电极片(1‑1),碲镉汞探测器件(1‑2)和衬底表面的转接电极(1‑3)组成;所述的组合聚焦装置(2)由八元线列角锥(2‑1)和聚四氟乙烯聚焦透镜(2‑2)组成;线列角锥(2‑1)高度为25mm,分为八个单元,各单元的高宽比为2:1,聚四氟乙烯聚焦透镜(2‑2)的焦距为角锥长度的长度3倍,角锥长度L和器件到聚焦镜中心的距离D的比值为0.30‑0.33;所述的可控温杜瓦单元(3)为侧罩杜瓦(3‑1),防辐射导热屏蔽罩(3‑2),液氮(3‑3),冷指(3‑4),铂金测温电阻(3‑5),加热片(3‑6),PE窗口片(3‑7)组成;所述的前置放大器及读出电路(4)由前放电路PCB板(4‑1),输出引线(4‑2),25针输出端子(4‑3)组成;所述的可控杜瓦单元(3)的冷指(3‑4)中空部分正中心的内侧为铂金测温电阻(3‑5),外侧依次固定八元线列探测器件(1)和组合聚焦装置(2),在冷指(3‑4)外侧,依次为预设了对准标记的氧化铝衬底转接电极片(1‑1)、镉汞探测器件(1‑2)、元线列角锥(2‑1)和聚四氟乙烯聚焦透镜(2‑2);所述的探测器件(1‑2)为碲锌镉衬底的碲镉汞探测器件,包括碲镉汞敏感元(1‑2‑1)和耦合天线(1‑2‑2),各探测单元位于氧化铝衬底转接电极片(1‑1)的上方,通过预设在氧化铝衬底转接电极片(1‑1)表面的转接电极(1‑3)将电信号引出,通过前置放大器及读出电路(4)的选择芯片使线列器件各单元器件的信号逐个读出。
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