[实用新型]一种曝光能量均匀性标定结构有效
| 申请号： | 201720071974.8 | 申请日： | 2017-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN206557527U | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡志国;龚田;胥涛棚;周黎;李小明 | 申请（专利权）人： | 湖北凯昌光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 深圳市合道英联专利事务所(普通合伙)44309 | 代理人： | 廉红果 |
| 地址： | 432900 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光能量均匀性标定结构，其包括带有小孔的机加件以及光电池，所述光电池设置在机加件远离小孔的一侧。本实用新型用带有小孔的机加件代替了毛玻璃来阻挡激光，由于机加件密封不透光，随时间推移没有光损等现象，保证了对激光的阻挡效率，使标定结果不会随时间变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 能量 均匀 标定 结构 | ||
【主权项】：
一种曝光能量均匀性标定结构，其特征在于，其包括带有小孔的机加件以及光电池，所述光电池设置在机加件远离小孔的一侧。
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