[实用新型]一种智能化在线稀释校准仪

摘要

本实用新型公开了一种智能化在线稀释校准仪，包括标气系统，稀释气系统，稀释管路控制系统；其中所述标气系统的标气(1，2，3，4，5，6，7)和吹扫气(8)并列排列，并依次经过连接的多通(22)，颗粒过滤器(25)，稳压阀(9)，电磁三通阀(10)，旁路吹扫系统(12)，流量控制系统(11)，三通(26)，单向阀(13)，电磁三通阀(14)，吹扫气放空口(23)；所述稀释气系统的稀释气(20，21)，经过质量流量计(15，16)，经过电磁三通阀(17)至稀释管路系统；所述管路控制系统的稀释管路(18)，经管路解法(19)，经过最终稀释气出口(24)；所述电磁三通阀(14)连接所述稀释管路控制系统。

主权项

一种智能化在线稀释校准仪，其特征在于：包括标气系统(1，2，3，4，5，6，7，8，22，9，10，11，12，13，23，25，26)，稀释气系统(20，21，15，16，17)，稀释管路控制系统(18，19，24)；其中所述标气系统的标气(1，2，3，4，5，6，7)和吹扫气(8)并列排列，并依次经过连接的多通(22)，颗粒过滤器(25)，稳压阀(9)，电磁三通阀(10)，旁路吹扫系统(12)，流量控制系统(11)，三通(26)，单向阀(13)，电磁三通阀(14)，吹扫气放空口(23)；所述稀释气系统的第一稀释气(20)和第二稀释气(21)，经过第一质量流量计(15)和第二质量流量计(16)，经过电磁三通阀(17)至稀释管路系统；所述稀释管路控制系统的稀释管路(18)，经管路解法(19)，经过最终稀释气出口(24)；所述电磁三通阀(14)连接所述稀释管路控制系统。