[实用新型]一种间歇式的钽阳极块正压烧结装置有效
申请号: | 201720091582.8 | 申请日: | 2017-01-22 |
公开(公告)号: | CN206709595U | 公开(公告)日: | 2017-12-05 |
发明(设计)人: | 荣生;刘文国;王帆;郑浩宇 | 申请(专利权)人: | 江门富祥电子材料有限公司 |
主分类号: | F27B5/05 | 分类号: | F27B5/05;F27B5/16;F27B5/06;F27B5/18;F27D7/06;F27D9/00 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人: | 赵蕊红 |
地址: | 529152 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种间歇式的钽阳极块正压烧结装置,该装置主要包括烧结炉体、真空系统、温控系统,氩气保护系统、电器控制系统和冷却水循环系统。利用该装置进行钽阳极块高温正压烧结时,先对炉体抽真空后,再通入流动高纯氩气并保持一定的氩气流量,炉内钽阳极块在一定压力的流动氩气氛围下进行高温正压烧结,烧结后出的产品性能稳定,该方法有效避免阳极块被氧化,且流动氩气极大缩短阳极块降温时间,节约能耗,大大提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 间歇 阳极 正压 烧结 装置 | ||
【主权项】:
一种钽阳极块正压烧结装置,所述的装置包括烧结炉体、真空系统、温控系统、冷却水循环系统,其特征在于,还含有氩气保护系统;所述的氩气保护系统含有位于烧结炉体上的氩气进气口和氩气排气口;所述的冷却水循环系统包含内水冷保护系统和外水冷保护系统;所述的外水冷保护系统位于烧结炉体外,内水冷保护系统位于烧结炉体内;所述烧结炉体上方为烧结炉盖,烧结炉盖下方为真空炉内室,真空炉内室下方为机架;所述的烧结炉盖通过夹紧装置固定在真空炉内室上;所述烧结炉内室从外到里依次含有内水冷保护系统、内壳钽隔热屏、钽加热框和吊篮;所述的机架上设置有流量计。
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