[实用新型]多级磁场电弧离子镀的内衬直管和多孔挡板复合型装置

摘要

多级磁场电弧离子镀的内衬直管和多孔挡板复合型装置，属于材料表面处理技术领域，本实用新型为解决多级磁场过滤装置中大颗粒对薄膜的污染和等离子体传输过程中的损失问题。本实用新型的装置包括偏压电源、弧电源、电弧离子镀靶源、多级磁场装置、多级磁场电源、内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置、正偏压电源、样品台、偏压电源波形示波器和真空室；薄膜沉积连接装置，启动系统，待真空室内的真空度小于10‑4Pa时，通入工作气体，开启镀膜电源，偏压电源调节电弧等离子体的能量，通过内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置和多级磁场装置来消除大颗粒缺陷和提高电弧等离子体在多级磁场过滤装置的传输效率，设置工艺参数，进行薄膜制备。

主权项

多级磁场电弧离子镀的内衬直管和多孔挡板复合型装置，其特征在于，该装置包括偏压电源（1）、弧电源（2）、电弧离子镀靶源（3）、多级磁场装置（4）、多级磁场电源（5）、内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置（6）、正偏压电源（7）、样品台（8）、偏压电源波形示波器（9）和真空室（10），内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置（6）与真空室（10）和多级磁场装置（4）之间绝缘；待处理基体工件置于真空室（10）内的样品台（8）上，工件和样品台（8）接偏压电源（1）的负极输出端，电弧离子镀靶源（3）安装在真空室（10）上，接弧电源（2）的负极输出端，多级磁场装置（4）的各级磁场接多级磁场电源（5）的各个输出端，正负极接法依据输出磁场方向进行确定，内衬正偏压直管和多孔挡板复合型装置（6）接正偏压电源（7）的正极输出端，电弧离子镀靶源（3）和多级磁场装置（4）通过水冷方式避免工作过程中的温度升高问题。