[实用新型]一种配气系统有效
申请号: | 201720093028.3 | 申请日: | 2017-01-24 |
公开(公告)号: | CN206463804U | 公开(公告)日: | 2017-09-05 |
发明(设计)人: | 廖恒易;唐忠福;陈平;张有华 | 申请(专利权)人: | 江西省华东特种气体有限公司;江西华特电子化学品有限公司 |
主分类号: | B01F3/02 | 分类号: | B01F3/02;B01F15/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 张海英,林波 |
地址: | 330013 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 一种配气系统,包括第一原料瓶、第二原料瓶、控制柜、电子秤、成品气瓶、加压气瓶、真空泵、真空表、第一原料表和第二原料表;第一原料瓶、第二原料瓶和成品气瓶之间通过管道连接,第二原料瓶和加压气瓶之间通过管道连接,第一原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接;第二原料瓶的输出端与成品气瓶的输入端连接;第一原料瓶的输出端设有第一控制阀和第一排放阀;本实用新型通过所述电子秤对有比例要求的成品气体进行精确配置,通过所述真空泵能够处理所述管道及成品气瓶的杂质,装置管道采用抗吸附、抗腐蚀的不锈钢材料,保证了装置内部的洁净度,整个过程下来,使得最终配出的混合气体的准确度高、产品质量稳定。 | ||
搜索关键词: | 一种 系统 | ||
【主权项】:
一种配气系统,其特征在于:包括第一原料瓶、第二原料瓶、控制柜、电子秤、成品气瓶、加压气瓶、真空泵、真空表、第一原料表和第二原料表;所述第一原料瓶、第二原料瓶和成品气瓶之间通过管道连接,所述第二原料瓶和加压气瓶之间通过管道连接;所述第一原料瓶的输出端与所述成品气瓶的输入端连接;所述加压气瓶的输出端与所述第二原料瓶的气相阀端连接,所述第二原料瓶的输出端与所述成品气瓶的输入端连接;所述第一原料瓶的输出端设有第一控制阀和第一排放阀;所述第二原料瓶的输出端设有第二控制阀和第二排放阀;所述加压气瓶的输出端设有降压阀;所述成品气瓶的输入端设有成品控制阀;所述真空泵设于所述控制柜内,所述真空泵与所述管道连接,所述真空泵的输出端设有真空泵控制阀;所述真空表、第一原料表和第二原料表设于所述控制柜,且分别与所述管道连接,所述真空表设有真空表控制阀;所述电子秤用于称量所述成品气瓶的重量。
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