[实用新型]一种全自动晶圆劈裂机

摘要

本实用新型涉及劈裂机技术领域，尤其涉及一种全自动晶圆劈裂机，包括晶圆料盒、校正装置、夹料机械手和加工机架，所述加工机架包括Z向机架、Y向机架和旋转工作台，所述Z向机架包括Z向运动机构、吸盘架和压板，所述Z向运动机构的侧面设置有光栅尺和光电开关，所述Z向运动机构连接有裂片刀，所述裂片刀上端设置有击锤，所述Y向机架设置有通过伺服电机驱动的旋转工作台，所述旋转工作台位于Z向机架的下方，所述Y向机架的底部设置有X向运动机构和CCD感应器，所述CCD感应器滑动设置于X向运动机构。本实用新型能够实现全自动化操作，对晶圆片进行精密加工，满足不同种类晶圆片的加工需求。

主权项

一种全自动晶圆劈裂机，包括晶圆料盒（1），所述晶圆料盒（1）的旁侧设置有校正装置（2），所述晶圆料盒（1）与校正装置（2）之间设置有可移动的夹料机械手（3），所述校正装置（2）的旁侧设置有加工机架（4），所述加工机架（4）包括Z向机架（5）和Y向机架（6），所述Y向机架（6）设置可转动的旋转工作台（7），其特征在于：所述Z向机架（5）设置有可上下移动的Z向运动机构（8），所述Z向运动机构（8）的侧面设置有光栅尺（9）和光电开关（10），所述Z向运动机构（8）驱动裂片刀（11）往复运动，所述裂片刀（11）上端设置有击锤（12），所述Z向机架（5）还设置有通过驱动元件（13）驱动升降的吸盘架（14）和压板（15），所述吸盘架（14）和压板（15）均设置于固定平台（16）上，所述固定平台（16）设置于Z向机架（5）的前端，所述旋转工作台（7）的底部设置有X向运动机构（17）和用于采集晶圆片位置信息并反馈给控制系统的CCD感应器（18），所述CCD感应器（18）滑动设置于X向运动机构（17）。