[实用新型]OLED照明器件蒸镀装置有效
| 申请号： | 201720099141.2 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206666629U | 公开（公告）日： | 2017-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李本龙 | 申请（专利权）人： | 南京高光半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙)32231 | 代理人： | 郭云梅 |
| 地址： | 210038 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于OLED照明器件制备技术领域，具体涉及一种OLED照明器件蒸镀装置。其包括至少一个坩埚组，所述坩埚组由多个可分别容置蒸镀材料的子坩埚依次排列组成，所述子坩埚的开口分别与OLED照明器件的基板对应位置所需要的蒸镀图案相一致。本实用新型在蒸镀过程中无需Common Mask，蒸镀过程便捷，能够避免材料大量浪费，利于节省成本与提升产能。 | ||
| 搜索关键词： | oled 照明 器件 装置 | ||
【主权项】：
OLED照明器件蒸镀装置，其特征在于：包括至少一个坩埚组(1)；所述坩埚组(1)由多个可分别容置蒸镀材料的子坩埚(11)依次排列组成，所述子坩埚(11)的开口(12)分别与OLED照明器件的基板(2)对应位置所需要的蒸镀图案(21)相一致。
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