[实用新型]一种自动化太阳能硅锭清洗系统有效
| 申请号： | 201720099384.6 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206460943U | 公开（公告）日： | 2017-09-01 |
| 发明（设计）人： | 陈锋;吴晓健;黄继伟 | 申请（专利权）人： | 江苏指南针自动化科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/02 | 分类号： | H01L21/02;B08B11/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215614 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种自动化太阳能硅锭清洗系统，其特征在于包括工业机器人、爬坡滚筒线体、自动清洗机和输送流水线，所述工业机器人、爬坡滚筒线体、自动清洗机和输送流水线依次相接，所述工业机器人包括机械臂、风刀和真空吸盘，所述真空吸盘下部设置有用于放置硅锭的挡板。本实用新型设计合理、结构简单、操作方便、使用效果好、成本较低，可以很好地对硅锭进行清洗，有效解决了现有技术的不足。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动化 太阳能 清洗 系统 | ||
【主权项】：
一种自动化太阳能硅锭清洗系统，其特征在于：包括工业机器人(1)、爬坡滚筒线体(2)、自动清洗机(3)和输送流水线(4)，所述工业机器人(1)、爬坡滚筒线体(2)、自动清洗机(3)和输送流水线(4)依次相接，所述工业机器人(1)包括机械臂(11)、风刀(12)和真空吸盘(13)，所述真空吸盘(13)下部设置有用于放置硅锭(14)的挡板(15)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
