[实用新型]一种高精度的压力控制装置有效
| 申请号： | 201720100071.8 | 申请日： | 2017-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN206451051U | 公开（公告）日： | 2017-08-29 |
| 发明（设计）人： | 高波;罗二仓;张海洋;林鹏;陈燕燕 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G05D16/18 | 分类号： | G05D16/18 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 汤财宝 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高精度的压力控制装置，其包括气瓶，其包括有高纯度的工作气体；至少一个腔体，所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接，所述至少一个腔体的出气管连接到压力计，所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。本实用新型结构简单、控压精度高，其解决了绝对压力测量过程中活塞压力计内部泄气导致测压周期短、连续波动大和测压管路存在“死空间”等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 压力 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种高精度的压力控制装置，其包括：气瓶，其包括有高纯度的工作气体；至少一个腔体，所述气瓶与所述至少一个腔体的进气管道连接，其特征在于：所述至少一个腔体的出气管连接到压力计，所述工作气体通过所述压力计进入到反馈回路。
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