[实用新型]激光加工装置有效
| 申请号： | 201720102004.X | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN206598017U | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 奥间惇治;长尾光洋;伊崎泰则 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种激光加工装置，其能够将反射型空间光调制器的反射面上的激光的图像容易且高精度地向聚光光学系统的入射光瞳面传像。激光加工装置具备支撑加工对象物的支撑台、射出激光(L)的激光振荡器、调制并反射激光(L)的反射型空间光调制器(410)、使激光(L)相对于加工对象物进行聚光的聚光透镜单元(430)、构成反射型空间光调制器(410)的反射面和聚光透镜单元(430)的入射光瞳面(430a)处于成像关系的两侧远心光学系统的一对透镜(422、423)。通过一对透镜(422、423)的激光(L)的光路为一直线。两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 | ||
【主权项】：
一种激光加工装置，其特征在于，具备：支撑部，其支撑加工对象物；激光光源，其射出激光；反射型空间光调制器，其调制并反射所述激光；聚光光学系统，其使所述激光相对于所述加工对象物进行聚光；及成像光学系统，其构成所述反射型空间光调制器的反射面和所述聚光光学系统的入射光瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统，从所述反射型空间光调制器到达所述聚光光学系统的所述激光的光路中至少通过所述成像光学系统的所述激光的光路为一条直线，所述两侧远心光学系统的倍率M满足0.5＜M＜1或1＜M＜2。
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