[实用新型]半导体气体传感器有效
| 申请号： | 201720104611.X | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN206573520U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 李周炫;李汉春 | 申请（专利权）人： | 东部HITEK株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙)31239 | 代理人： | 余文娟 |
| 地址： | 韩国首尔*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种半导体气体传感器包括基板，其具有腔室；第一绝缘层，其形成在所述基板上且包括在与所述腔室和所述腔室的外周部分相应的位置上形成的暴露孔；第二绝缘层，其形成在所述第一绝缘层上且覆盖所述暴露孔；加热电极，其形成在所述第二绝缘层上且形成在与所述腔室相应的位置上；感测电极，其形成在所述加热电极上方且与所述加热电极电绝缘；以及检测层，其覆盖所述感测电极且能够当与预定种类的气体相作用时具有可变电阻。该半导体气体传感器能够保持感测区域的温度恒定以及感测区域的温度分布均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 气体 传感器 | ||
【主权项】：
一种半导体气体传感器，其包括：基板，其限定延伸至外周部分的腔室；第一绝缘层，其形成在所述基板上且限定邻近所述腔室和所述外周部分的暴露孔；第二绝缘层，其形成在所述第一绝缘层上并布置在与所述腔室相对的所述暴露孔处；加热电极，其形成在所述第二绝缘层上与所述暴露孔和所述腔室相对的表面上；感测电极，其按与所述加热电极相对且远离所述暴露孔和所述腔室的方式进行布置，其中所述感测电极与所述加热电极电绝缘；以及检测层，其覆盖所述感测电极并当与预定气体相交互时具有可变电阻。
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