[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201720106652.2 | 申请日： | 2017-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN206533541U | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 詹竣凯;李俊;蔡孟锦 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构；在所述振膜上设置有泄压装置，在所述振膜与背极之间形成了保压通道，所述振膜上的泄压装置构成了该保压通道的入口。本实用新型的麦克风，通过进入至保压通道内的气压与振膜外界受到的瞬间冲击力进行对抗，来获得二者之间的动态平衡，可以很好地缓冲振膜所受到的冲击力；采用这种结构的泄压方式，使得不用在振膜上进行过多的泄压设计，保证了振膜的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，其特征在于：包括具有背腔的衬底(1)，在所述衬底(1)上设置有由振膜(3)和背极(5)、支撑部(4)构成的平板电容器结构；在所述振膜(3)上设置有泄压装置，在所述振膜(3)与背极(5)之间形成了保压通道(31)，所述振膜(3)上的泄压装置构成了该保压通道(31)的入口。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔股份有限公司，未经歌尔股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720106652.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种任意拼接LED灯
- 下一篇：一种不带边嵌入式无缝连接LED线条灯
