[实用新型]一种导膜张力跳动杆

摘要

本实用新型公开了一种导膜张力跳动杆，包括导膜轮、中心轮、配重轴心、左固定板、右固定板、紧固螺帽和轴承；导膜轮安装在左固定板、右固定板之间，中心轮安装在左固定板、右固定板之间；导膜轮位于中心轮的下方；配重轴心安装在左固定板、右固定板之间，位于中心轮的上方；配重轴心与左固定板、右固定板连接的两端通过紧固螺帽固定连接；导膜轮和中心轮与左固定板、右固定板连接的两端分别通过轴承连接。本实用新型导膜效果好，调整方便，结构简单、安装方便，成本低廉，提高了设备稳定性和上产良率，通过调节螺杆调整导膜轮的左、右高度，导正光阻膜走膜，解决光阻膜走膜倾斜造成的膜皱问题。

主权项

一种导膜张力跳动杆，其特征在于：包括导膜轮(1)、中心轮(2)、配重轴心(3)、左固定板(4)、右固定板(7)、紧固螺帽(5)和轴承(6)；所述导膜轮(1)安装在左固定板(4)、右固定板(7)之间，中心轮(2)安装在左固定板(4)、右固定板(7)之间；所述导膜轮(1)位于中心轮(2)的下方；所述配重轴心(3)安装在左固定板(4)、右固定板(7)之间，位于中心轮(2)的上方；所述配重轴心(3)与左固定板(4)、右固定板(7)连接的两端通过紧固螺帽(5)固定连接；所述导膜轮(1)和中心轮(2)与左固定板(4)、右固定板(7)连接的两端分别通过轴承(6)连接。