[实用新型]一种微型多维传感器有效
| 申请号： | 201720121453.9 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN206618718U | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 宁占武;孙建海;朱小锋;张艳妮;刘锦华 | 申请（专利权）人： | 北京市劳动保护科学研究所 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人： | 王庆龙 |
| 地址： | 100054 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种微型多维传感器，微型多维传感器包括基底以及设置在基底上的第一绝缘层；第一绝缘层上设置有加热层；所述加热层上设置有第二绝缘层；第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极层的水平方向上依次间隔分布，N≥3；所述电极层上设置有敏感层，所述敏感层包括N‑1个相互独立的敏感膜；所述N‑1个相互独立的敏感膜在沿所述敏感层的水平方向上依次间隔分布，且每个敏感膜覆盖在相邻的两个电极之上；所述N‑1个相互独立的敏感膜分别采用不同的敏感材料制备，用于检测不同的气体。本实用新型提供的微型多维传感器能够提高气体检测灵敏度，同时扩大气体检测范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 多维 传感器 | ||
【主权项】：
一种微型多维传感器，其特征在于，包括：基底以及设置在基底上的第一绝缘层；所述第一绝缘层上设置有加热层；所述加热层上设置有第二绝缘层；所述第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极层的水平方向上依次间隔分布，N≥3；所述电极层上设置有敏感层，所述敏感层包括N‑1个相互独立的敏感膜；所述N‑1个相互独立的敏感膜在沿所述敏感层的水平方向上依次间隔分布，且每个敏感膜覆盖在相邻的两个电极之上；其中，所述N‑1个相互独立的敏感膜分别采用不同的敏感材料制备，用于检测不同的气体。
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